こうなったら意地なんで再度トライ。
まず失敗した基板を見ながらパタンを見直し危ないところは可能な限りクリアランスが取れるようにしました。
ただパラレル入出力コネクタ周りがこれで限界。0.635mm(25mil)ピッチ、ライン幅0.3mmになっています。
紙フェノールの感光基板を買ってきて露光、エッチングしました。
今度は新品なので適正時間でいけます。
今度はまあまあ成功。ただ基板の下端、0.635mmピッチでラインが平行に走っているところでやはりパタン同士がくっついてしまいました。これはもうマスク側の不良です。
ルーペで拡大してみるとミシン目状にパタン間に溶け残りがあるのでカリカリとカッターの刃を入れてやると容易に分離できました