基板エッチング

パタン設計したあとずっと放置していたのをやっとエッチングしました

 

感光基板の製造日が2014/11ですっかり賞味期限を過ぎていたので、長めの240秒露光です。安いOHPシートのマスクでパタン部分のカブリが若干不安でしたが難なく完成。

 

仕上がりパタンをチェックしているとランドとラインがくっついちゃっているところがありました。ステッピングモータ用ドライバのピン間を通したラインを電流が流れるだろうと太くしたのでクリアランスが足りなかったようです

 

左側がガーバービュワーでみたパタン図、右側が同じ場所の実際の仕上がりパタン。

パタン設計の段階でギリギリでした。