露光は15Wケミカルランプ×3で5cm離したところで、時間はさらに延ばし13分。
現像は30℃1分で変わらずで処理したあとエッチングしたら今度はうまく行きました。
露光が長いのと、光が満遍なく当たるようにしょっちゅう基板位置を動かしたのも
よかったかもしれません。
あと現像後の水洗いというのも結構影響があるような気がします。
すべて手作業なんで最適条件を見つけるのにパラメータを固定するのは難しいですが、
まあ商売でやっているわけで無いのでこんなもんでいいかなと。
昨日と同じように光にかざすとCPLD周りもよく抜けてます。
顕微鏡で見ると一部ひげが出ているところもありますがデザインナイフでなんとかなりそうです。
