感光基板を買ってきて同じマスクで再チャレンジしました。 露光は15Wケミカルランプ×3で5cm離したところで、時間はさらに延ばし13分。 現像は30℃1分で変わらずで処理したあとエッチングしたら今度はうまく行きました。 露光が長いのと、光が満遍なく当たるよ…
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