CPU実験室

誰も見向きもしない古いCPUをいじって動かしてみようというプロジェクトです

エッチング大失敗

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サンハヤト基板の感光剤が改良されていると言うアナウンスがあって
今までより少し長めに露光(5分→8分)してエッチングしてみましたが大失敗。

パタンの周りにウイスカ状の溶け残りが出てこれがいつまでたっても溶けません。
上の写真はエッチング液の中で1時間くらい放置したもので、パタンがだいぶ細く
なっているけど溶けないところは意地でも残っていて中断。
いままでこういうトラブルは無かったのですが、おそらく露光不足が原因だと思われます。
現像は30℃で約1分、色が溶け出なくなるまでやっていて問題無いと思いますが
レジストの紺色がすっかり落ちて銅色が見えてもごく薄いレジストが残っていたのかも
しれません。

溶け残りが間隔1mmくらいの長手方向並行になっていて銅箔のラップ目か感光剤の塗ムラか
判りませんが気になるところ。