感光・現像・エッチング

露光装置はケミカルランプ10W*3本を棚材につけた手作り品です。
マスクと基板をクランプにはさんで、これで露光5分ちょうど。
現像は35℃で１分くらい。パタンからムラムラが出てこなくなるまで。
ついで湯煎にかけながら45℃エッチング。これは裏から光をあててパタンがくっきり見えるまで
20分くらいか。